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真空系统定制 真空腔体加工

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系统名称:两级串联质谱分析器


技术参数:

1.设备名称:两级串联线性质谱分析器

2.数量:1套

3.运行环境:

(1)房间温度:22~25℃

(2)相对湿度:20~60%

(3)适用电源:单相,220V±10%,50Hz±2%,4kVA,要求连续供电;三相,380V±10%,50Hz±2%,8kVA,要求连续供电;接地电阻小于2欧姆

4.系统组成及技术指标:

包括真空系统(束源室、电离室、选质室、两级飞行管和真空电控系统),脉冲束源,离子加速聚焦组件,质量筛选器(质量门),微通道板(MCP)探测器、配气系统。技术指标如下:

(1)★真空腔体:质谱腔空载时,泵口近端真空度好于5×10━5 Pa;真空计测量1×105 – 1-10-5 Pa范围;分子泵抽速不小于1200L/s,并且和前级油泵(2台,每台抽速不小于8L/s)之间有隔油装置;电控系统具备真空系统一键开、关机、数据记录功能,具备水压、断电、真空互锁保护功能;包含组成真空系统的必要配件(必要胶圈、螺钉、螺母、垫片、波纹管、卡箍、三通、四通、铜垫圈、水管、喉箍等)。

(2)★脉冲束源: 靶材作周期性平、转运动,转速10~30rpm,真空腔外可调,平动范围6~15mm可调;靶材尺寸Φ16mm;载气工作频率1-120Hz;产生管距skimmer距离,可更换不同支撑杆长度进行不连续调节,最近距离约10mm。

(3)离子加速聚焦组件:口径≥30mm×60mm(团簇进入方向),总离子通透率大于80%;整体安装角度可微调。电穿透电压可调范围-5000~+5000V。

(4)★质量筛选器(质量门): 口径≥30mm×60mm,总离子通透率大于80%;;电穿透电压可调范围-5000~+5000V。。

(5)微通道板(MCP)探测器:数量2个;口径≥Φ25mm;倍增效率≥106倍;一级探测器放置于红外光解区附近,可探测光解区离子空间聚焦情况;二级探测器可于真空腔外微调探测器俯仰角度。

(6)可与自行研制的118nm激光和红外解离光耦合。

(7)配气系统: 抽气泵抽速不小于4L/s,独立配气管道个数>5个。

(8)占地面积不超过2平方米。三个主腔体四面接口尺寸统一,可以互换,后期可拆分组合。

★综合性能:可探测质量范围50~2000 amu离子,对1000 amu附近的质谱峰的分辨率达到1000(M/ΔM)。







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